測量範圍

電阻率：10^-4～10⁵ Ω.cm(可(kě)擴(kuò)展(zhǎn))；   

方塊電(diàn)阻：10^-3～10⁶ Ω/□(可(kě)擴(kuò)展(zhǎn))；

電導(dǎo)率(shuài)：10^-5～10⁴ s/cm；

電(diàn)阻：10^-4～10⁵ Ω；

可測晶片厚度(dù)

 ≤3mm

可(kě)測晶(jīng)片(piàn)直(zhí)徑

 140mmX150mm(配(pèi)S-2A型測試(shì)台)；

 200mmX200mm(配S-2B型(xíng)測試(shì)台)；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試台)；

恒(héng)流源(yuán)

 電(diàn)流(liú)量(liáng)程分為1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六(liù)檔，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字(zì)電(diàn)壓(yā)表(biǎo)

 量(liáng)程及表示形式(shì)：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力(lì)：10μV；
 輸入(rù)阻抗(kàng)：>1000MΩ；
 精(jīng)度(dù)：±0.1% ；
 顯示：四位半紅(hóng)色發光(guāng)管(guǎn)數字顯(xiǎn)示；極性，超量程(chéng)自動(dòng)顯(xiǎn)示(shì)；

四探(tàn)針探(tàn)頭(tóu)基本指(zhǐ)標

 間(jiān)距(jù)：1±0.01mm；
 針間(jiān)絕(jué)緣電(diàn)阻(zǔ)：≥1000MΩ；
 機(jī)械遊移(yí)率：≤0.3%；
 探針：碳(tàn)化鎢(wū)或(huò)高速(sù)鋼(gāng)Ф0.5mm；
 探(tàn)針壓力(lì)：5～16 牛(niú)頓(總(zǒng)力)；

四探(tàn)針探頭(tóu)應用參數(shù)

 (見(jiàn)探頭附帶的合格(gé)證(zhèng))

模擬(nǐ)電(diàn)阻測(cè)量(liáng)相對誤差(chà)
( 按JJG508-87進行)

 0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3%±1字

整機測量*大(dà)相對誤差(chà)

(用矽標樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%

整(zhěng)機測(cè)量標準(zhǔn)不(bù)確(què)定度(dù)

 ≤4%

計算(suàn)機通(tōng)訊(xùn)接口(kǒu)

 並口

標準(zhǔn)使用(yòng)環境(jìng)

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻(pín)幹(gān)擾；
 無(wú)強光(guāng)直(zhí)射(shè)；