簡要概(gài)述:
Ø 儀(yí)器由主機(jī),測試(shì)台(tái),四(sì)探(tàn)針探頭,計(jì)算(suàn)機(jī)等(děng)部(bù)分組(zǔ)成,測(cè)量數(shù)據既可(kě)由主機(jī)直(zhí)接顯示,亦可由計算機(jī)控製(zhì)測(cè)試(shì)采(cǎi)集(jí)測試(shì)數據到(dào)計(jì)算機中加(jiā)以分析,然後以表格,圖形方式(shì)統(tǒng)計(jì)分析顯(xiǎn)示(shì)測(cè)試(shì)結果(guǒ)。
Ø 儀器采用了*新(xīn)電(diàn)子技術(shù)進行設(shè)計,裝(zhuāng)配(pèi)。具有(yǒu)功(gōng)能(néng)選擇直(zhí)觀,測量取(qǔ)數快(kuài),精度(dù)高,測量範(fàn)圍(wéi)寬,穩定性好,結(jié)構(gòu)緊(jǐn)湊,易(yì)操(cāo)作(zuò)等(děng)特(tè)點。
本儀器適(shì)用(yòng)於半導(dǎo)體材料(liào)廠,半(bàn)導(dǎo)體器(qì)件廠(chǎng),科研單位,高(gāo)等院校(xiào)對(duì)半導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)的電阻性(xìng)能(néng)測試。
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技(jì)術參(cān)數:
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測量(liáng)範(fàn)圍
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電阻(zǔ)率(shuài):10-4~105 Ω.cm(可擴展(zhǎn));
方(fāng)塊電阻:10-3~106 Ω/□(可(kě)擴展);
電導率:10-5~104 s/cm;
電(diàn)阻(zǔ):10-4~105 Ω;
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可(kě)測晶片直(zhí)徑(jìng)
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140mmX150mm(配S-2A型測試台(tái));
200mmX200mm(配S-2B型(xíng)測試台);
400mmX500mm(配S-2C型(xíng)測試(shì)台(tái));
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恒流(liú)源
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電流量(liáng)程(chéng)分為1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA六檔,各(gè)檔(dàng)電(diàn)流連(lián)續(xù)可調(tiáo)
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數(shù)字電(diàn)壓(yā)表(biǎo)
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量程及表(biǎo)示(shì)形式:000.00~199.99mV;
分辨(biàn)力(lì):10μV;
輸入阻(zǔ)抗:>1000MΩ;
精度(dù):±0.1% ;
顯(xiǎn)示(shì):四(sì)位半紅(hóng)色發光(guāng)管數(shù)字(zì)顯(xiǎn)示;極(jí)性(xìng),超量程自動(dòng)顯示;
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四探針探頭基本指(zhǐ)標(biāo)
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間(jiān)距(jù):1±0.01mm;
針(zhēn)間絕(jué)緣(yuán)電(diàn)阻(zǔ):≥1000MΩ;
機(jī)械遊移率(shuài):≤0.3%;
探(tàn)針(zhēn):碳化(huà)鎢(wū)或(huò)高(gāo)速鋼Ф0.5mm;
探針(zhēn)壓力:5~16 牛頓(總(zǒng)力(lì));
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四(sì)探針(zhēn)探頭應(yīng)用參數
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(見探頭附帶(dài)的合格證)
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模(mó)擬(nǐ)電阻測(cè)量(liáng)相對(duì)誤差(chà)
( 按JJG508-87進行)
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0.01Ω,0.1Ω,1Ω,10Ω,100Ω,1000Ω,10000Ω≤0.3%±1字(zì)
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整(zhěng)機(jī)測(cè)量*大相(xiāng)對(duì)誤差(chà)
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(用(yòng)矽標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
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整機(jī)測(cè)量標準(zhǔn)不(bù)確(què)定度
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≤5%
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計(jì)算機通訊接(jiē)口
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並(bìng)口
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標準使用(yòng)環境(jìng)
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溫度:23±2℃;
相(xiāng)對濕度(dù):≤65%;
無(wú)高頻(pín)幹(gān)擾(rǎo);
無強光直(zhí)射(shè);
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上海(hǎi)麥(mài)聚瑞電(diàn)子(zǐ)儀器(qì)有限公(gōng)司(sī)是(shì)一家(jiā)集生產(chǎn),研發以及(jí)產(chǎn)品代理經銷,產(chǎn)品技術(shù)培訓和提供(gōng)解決(jué)方案的專(zhuān)業(yè)儀器(qì)儀表公司
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文(wén)章標題:型四探針(zhēn)測(cè)試(shì)儀RTS-8
頁(yè)麵關鍵(jiàn)詞:LCR數字(zì)電橋 扭力(lì)測試儀 瓶(píng)蓋扭力測試(shì)儀(yí) 耐(nài)壓測(cè)試儀(yí) 電子(zǐ)負(fù)載(zǎi) 數字(zì)示波器(qì)(點擊(jī)關鍵(jiàn)詞(cí)可計(jì)入相應的(dí)產(chǎn)品目錄)
Ø RTS-8型四(sì)探針軟件測(cè)試係統是一個(gè)運行(háng)在(zài)計算機上(shàng)擁有友好(hǎo)測(cè)試(shì)界(jiè)麵的用戶(hù)程序,通過此測試程(chéng)序輔助使用戶(hù)簡便地進行(háng)各項測試(shì)及(jí)獲得(dé)測(cè)試數據並對測試數(shù)據進行(háng)統計(jì)分析。
Ø 測試程序控(kòng)製(zhì)四探(tàn)針(zhēn)測試儀進行測(cè)量並(bìng)采集測試數(shù)據,把采集(jí)到的(dí)數據(jù)在計(jì)算(suàn)機中加(jiā)以分析,然後把測試數(shù)據以(yǐ)表格,圖(tú)形(xíng)直(zhí)觀(guān)地(dì)記錄,顯示出來。用戶可對(duì)采集(jí)到的數(shù)據在(zài)電腦中保(bǎo)存(cún)或(huò)者打(dǎ)印以備日(rì)後(hòu)參(cān)考(kǎo)和查(chá)看,還(huán)可以(yǐ)把(bǎ)采(cǎi)集到的(dí)數(shù)據輸出到(dào)Excel中(zhōng),讓(ràng)用戶對數據進行各種數據分析