探(tàn)針測(cè)試台MT-ST102A
簡(jiǎn)要(yào)概(gài)述(shù):
ST-102A型探針(zhēn)測(cè)試台(tái)(英文叫(jiào)Prober station,中文(wén)又稱中測台(tái),點測機。),與測試(shì)儀(yí)器配(pèi)接(jiē)後可(kě)用於集(jí)成(chéng)電(diàn)路(lù)芯片及各種晶體管芯的電參(cān)數(shù)測試(shì)及(jí)功(gōng)能調(tiáo)試(shì),適用於(yú)科(kē)研(yán),新(xīn)品試(shì)製(zhì)及(jí)小批(pī)量(liáng)生(shēng)產的中間測試(shì)。
技(jì)術參數:
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工作台(tái)麵
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370mm*245mm
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載(zǎi)物(wù)台(tái)直(zhí)徑(jìng)
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6"(定(dìng)製型(xíng))
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光學參數
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總(zǒng)放(fàng)大率(shuài):50-100倍;手輪調(tiáo)焦範圍(wéi):60mm;升(shēng)降(jiàng)調焦範圍(wéi):200mm;
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精密旋轉台
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粗(cū)調範圍:360°;微調(tiáo)範(fàn)圍(wéi):±10°;*小(xiǎo)刻(kè)劃(huá):1°;
銅(tóng)盤(pán)直徑(jìng):Φ85mm;絕緣(yuán)盤直(zhí)徑:Φ102mm
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三(sān)維探針座
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探(tàn)針(zhēn)座(zuò)X,Y,Z方(fāng)向調節(jié)範圍(wéi):±3.25mm,分(fēn)辨率±2μ;
三(sān)維(wéi)探針座在(zài)工(gōng)作台(tái)麵(miàn)可任意位置固定,由(yóu)磁(cí)性開(kāi)關(guān)控製(zhì);
*多可布三(sān)維探針(zhēn)座6個;
探針(zhēn)臂伸(shēn)出長(cháng)度:60mm;
探(tàn)針長(cháng)度:40mm;
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探針
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探針材(cái)質硬質合金,針尖曲率半(bàn)徑(jìng)2μm;
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注:可(kě)按用(yòng)戶(hù)的實(shí)際需(xū)求進行訂(dìng)做。
Ø 標準(zhǔn)配(pèi)置(zhì):主(zhǔ)工作台(tái),顯微(wēi)鏡,承(chéng)片台,三維(wéi)微調(tiáo)架(jià)5個(gè),探(tàn)針臂(bì)5支(zhī),探(tàn)針5支。
Ø 可(kě)選配(pèi)件:三維(wéi)微調架,探(tàn)針臂,探針(zhēn),真空泵。
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