簡要概述:
LT-2型(xíng)單晶(jīng)少(shǎo)子(zǐ)壽命測試儀(yí)是參(cān)考美國(guó) A.S.T.M 標準(zhǔn)而設(shè)計的(dí)用於(yú)測(cè)量(liáng)矽單晶(jīng)的非(fēi)平衡少數(shù)載(zǎi)流(liú)子壽(shòu)命。半導體(tǐ)材(cái)料(liào)的少(shǎo)數(shù)載流子(zǐ)壽命(mìng)測量,是半導體的常規測試項目(mù)之一。本儀(yí)器(qì)靈(líng)敏度(dù)較高(gāo),配備有紅(hóng)外光源,可(kě)測(cè)量(liáng)包(bāo)括(kuò)集(jí)成(chéng)電路級(jí)矽(guī)單晶(jīng)在(zài)內的各種類(lèi)型矽(guī)單晶,以(yǐ)及經(jīng)熱處理後(hòu)壽(shòu)命驟降的(dí)矽(guī)單晶(jīng),多晶磷(lín)檢棒的壽命(mìng)測(cè)量等。
產(chǎn)品(pǐn)優(yōu)點(diǎn):
本儀器根據國(guó)際(jì)通用方(fāng)法高(gāo)頻光(guāng)電(diàn)導衰退法的原(yuán)理(lǐ)設計,由穩壓電源,高頻(pín)源,檢(jiǎn)波(bō)放(fàng)大器,特製(zhì)的InGaAsp/InP紅外光源及(jí)樣(yàng)品(pǐn)台(tái)共(gòng)五部份組(zǔ)成。采(cǎi)用印(yìn)刷電(diàn)路(lù)和(hé)高頻(pín)接(jiē)插連接。整(zhěng)機結構緊(jǐn)湊,測量數據(jù)可(kě)靠。
技(jì)術參數:
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型(xíng)號
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LT-2
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測試單晶電阻率範圍
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>2Ω.cm
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可測單(dān)晶(jīng)少子壽命(mìng)範(fàn)圍(wéi)
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5μS~7000μS
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配(pèi)備(bèi)光(guāng)源(yuán)類型
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波(bō)長:1.09μm;餘(yú)輝<1 μS;
閃光(guāng)頻(pín)率(shuài)為(wéi):20~30次(cì)/秒;
閃光(guāng)頻(pín)率(shuài)為(wéi):20~30次/秒;
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高頻振(zhèn)蕩源(yuán)
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用(yòng)石(shí)英諧(xié)振器,振(zhèn)蕩(dàng)頻(pín)率:30MHz
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前置放(fàng)大(dà)器(qì)
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放大(dà)倍數(shù)約25,頻(pín)寬2 Hz-1 MHz
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儀(yí)器測(cè)量重(zhòng)復誤差
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<±20%
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測量(liáng)方式
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采(cǎi)用(yòng)對標準曲綫讀(dú)數方式(shì)
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儀器(qì)消(xiāo)耗(hào)功率(shuài)
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<25W
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儀(yí)器(qì)工作條(tiáo)件(jiàn)
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溫度: 10-35℃, 濕度(dù) < 80%,使(shǐ)用(yòng)電源:AC 220V,50Hz
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可(kě)測(cè)單晶尺寸
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斷(duàn)麵豎測:φ25mm—150mm; L 2mm—500mm;
縱(zòng)向(xiàng)臥測:φ25mm—150mm; L 50mm—800mm;
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配(pèi)用(yòng)示波器(qì)
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頻寬(kuān)0—20MHz;
電壓靈(líng)敏:10mV/cm;
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